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电子厂房清洁度等级及标准参考!

深圳海外装饰工程通讯 2025-02-23 0

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各种产品的品种不同和生产工艺不同,所哀求的空气清洁度等级也不相同,因此各种电子产品用清洁厂房设计时,生产环境的空气清洁度等级应根据生产工艺哀求确定。
由于各种产品生产工艺都各不相同,以是对付空气清洁度等级、掌握粒径均列出一定的范围供参考,为解释这些差异,下面列举一些工程的实例供参考:

1.硅单晶及硅片加工哀求的空气清洁度等级

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2.集成电路的芯片制造用清洁厂的空气清洁度等级、温湿度哀求

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(图片来自网络侵删)

注:表中·为芯片生产设备配带微环境装置,装置内空气清洁度等级为1~2级!

3.TFT-LCD制造用清洁厂房的空气清洁度等级、温度、湿度

4.微硬盘驱动器(HDD)生产用清洁厂房

溅射生产区4级:0.1μm、23±1℃、45%±5%;组装、测试等6级:0.3μm、23±2℃、45%±10%。

5.高密度磁盘生产用清洁厂房

(1)切带间、带基间、涂布间、固化间等6级:0.5μm、23±1℃、50±5%,个中,涂布间的头部哀求5级。

(2)组装间7级:0.5μm、23±2℃、50±10%。

(3)配件间、化验室8级:0.5μm、24±3℃、50±10%。

6.彩色显像管生产用清洁厂房的空气清洁度等级、温度、湿度

7.光纤生产用清洁厂房的空气清洁度等级、温度、湿度

8.磁头生产用清洁厂房

磁头装置、溅射烧结等哀求4级(0.1μm),研磨、检测等哀求5级(0.1μm),切割等哀求6级。

9.印制电路板生产用清洁厂房:6.5级、24±2℃、65%±5%。

10.锂电池生产的干作业清洁生产区:6级、23℃;露点(DP)-30℃;组装、测试清洁室(区):7级、23±2℃、≈20%。

11.等离子显示器(PDP)生产用清洁厂房

涂屏间:5.5级、25±2℃,50%±10%。

其他生产间:6.5~8级、20~26℃、55%±10%。

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