晶合集成申请工艺参数确定方法及其系统、分娩系统专利提高工艺参数确定的准确度

专利择要显示，本申请涉及一种工艺参数确定方法及其系统、生产系统。
该工艺参数确定方法包括：获取历史产品数据及历史工艺数据；根据历史产品数据和历史工艺数据之间的对应关系建立匹配模型；确定目标产品参数及对应的m个初始工艺参数；个中，m≥2且为整数；根据匹配模型，确定各初始工艺参数独立调节时目标产品参数的第一变革量；根据匹配模型，确定各初始工艺参数同时调节时目标产品参数的第二变革量；根据第一变革量和第二变革量共同确定目标产品参数的补偿值；根据初始工艺参数的数量、第一变革量、补偿值以及历史产品数据分别确定各初始工艺参数对应的目标工艺参数。
该工艺参数确定方法可以提高工艺参数确定的准确度，从而可以确保并改进产品良率。

本文源自金融界