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专利择要显示，本实用新型涉及显示面板制造技能领域，尤其涉及一种光罩检讨机构及光罩清洁设备。光罩检讨机构包括风机组件、制冷风道和制热风道，制冷风道和制热风道均与风机组件相连通，风机组件用于向制冷风道和制热风道内吹入空气，制冷风道被配置为对吹入的空气降温，制热风道被配置为对吹入的空气加热，并且制冷风道和制热风道用于同时向光罩的表面吹气，以使光罩的表面产生雾气，从而检讨光罩的表面是否存在印记，降落了对光罩的检测难度，提高了对光罩的检讨效率，也担保了产品的良率。此外，通过冷热空气相遇产生雾气，避免了光罩的表面残留水渍，担保了光罩的正常利用。光罩清洁设备通过运用上述光罩检讨机构，提高了事情效率，也担保了产品的良率。
本文源自金融界
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