长鑫存储申请扫描电子显微镜的扫描方法及扫描电子显微镜专利可以供应更准确的样品检测图像

专利择要显示，本公开供应一种扫描电子显微镜的扫描方法以及扫描电子显微镜，扫描电子显微镜包括对向设置的第一探测器和第二探测器，扫描方法包括：分第一方向和第二方向对目标样品进行多次隔行扫描，以根据所述第一探测器和所述第二探测器吸收的电子束形成所述目标样品的检测图像；个中，相邻两次所述隔行扫描对应的行不相同，所述多次隔行扫描对应所述目标样品的全部行，所述目标样品的每一行均对应至少两次隔行扫描，所述至少两次隔行扫描至少包括对该行进行所述第一方向的扫描和对该行进行所述第二方向的扫描，所述第二方向为所述第一方向的反方向。
本公开履行例可以供应更准确的样品检测图像。

本文源自金融界