溅射工艺事理（来源：江丰电子招股书）
靶材是制备高品质薄膜的关键材料，其纯度必须达到99.95%以上，密度应达到理论密度的90%以上，且应具有均匀的形状与尺寸。此外，一个高清洁度和高光洁度的表面有利于实现均匀的膜层沉积。
在溅射镀膜过程中，若靶材表面附着有油污、灰尘、颗粒状杂质等异物，会引起电弧放电，导致靶材的一部分变为熔融态并向各个方向飞溅，附着在基板或已成膜的镀膜上，将降落镀膜质量，进而影响产品的合格率，导致生产本钱增加。因此，必须对靶材进行充分的清洁，确保靶材的清洁度。
在靶材的制备过程中，超声波洗濯技能被广泛运用于去除靶材表面的各种污染物。从原材料的初步洗濯到成型、抛光后的风雅洗濯，再到终极产品的出厂前洗濯，超声波洗濯技能贯穿靶材生产的每一个环节。
在靶材制备的起始阶段，原材料表面可能沾有油污、灰尘、氧化物等污染物。如果这些污染物不被有效去除，它们将掺杂进随后的熔炼、铸造等成型过程中，降落靶材的纯度。超声波洗濯能够深入材料表面的微不雅观构造，迅速去除附着的污染物，为制备高质量的靶材打下坚实根本。
靶材在经由熔炼、铸造或压制成型后，表面可能会形成新的氧化物层或残留加工助剂。超声波洗濯技能能够有效去除这些物质，确保靶材表面达到所需的清洁度，为后续的机器加工和热处理工艺供应保障。
靶材在经由机器或化学抛光后，表面光洁度得到显著提升，但同时也可能引入新的眇小颗粒或化学残留物。运用超声波洗濯技能可以进一步打消这些污染物，确保靶材表面达到高光洁度标准，知足薄膜制备过程中对靶材表面质量的严格哀求。
背板起到将溅射靶材固定在机台内的浸染，高纯金属的溅射靶坯与背板可通过不同的焊接工艺进行接合。在靶坯与背板接合前，须要将表面清洁干净，以去除各种有机污染物（拉伸油、切削油、洗濯剂、脱模蜡、胶黏剂、助焊剂等），担保绑定材料的稳定性和可靠性。
常用的靶材镀膜工艺有物理气相沉积、化学气相沉积、磁控溅射等，通过在靶材表面形成一层薄膜，可以提高其性能和耐用性。超声波洗濯是靶材镀膜前非常主要的一步，可以去除靶材表面的油污、氧化物和金属杂质等，提高膜层质量和附着力。
在靶材即将出厂前，进行终极的超声波洗濯是确保产品达到客户哀求的主要步骤。采取超声波洗濯可有效提升靶材表面的清洁度、减少玄色氧化物产生，提升高质量膜层的沉积效率。
超声波洗濯是一种有效的靶材洗濯方法，其事理是利用超声波在液体中的空化浸染、加速度浸染及直进流浸染对液体和污物直接、间接的浸染，使污物层被分散、乳化、剥离而达到洗濯目的，具有洗濯效果好、洗濯速率快、不损伤靶材表面、环保节能等优点。
在靶材的超声波洗濯中，紧张采取喷淋洗濯和超声波洗濯工艺对靶材进行全面的洗濯，洗濯后，利用烘干装置将靶材烘干，避免留下水印和二次污染。
洗濯后的靶材应存储在真空包装中，利用防潮剂，并存放在密封、清洁的环境中，以避免氧化和污染，确保靶材的高清洁度和性能。
超声波洗濯技能在靶材制备过程中发挥着不可或缺的浸染，为靶材的表面带来前所未有的清洁度，确保了其在薄膜制备中的卓越性能，提升产品的市场竞争力。随着技能的不断进步和创新，超声波洗濯将在靶材制备领域发挥更大的浸染，推动材料科学和工业生产的发展。
