近日，由四川大学“无线能量传输”工科特色团队研制的海内首套全国产化的用于半导体键合的高性能微波等离子体洗濯装备样机进入生产测试阶段，测试事情进展顺利。CCTV-2《经济半小时》对该成果进行了宣布，川大团队项目卖力人做了项目进展和装备进展的申报请示。
川大团队项目卖力人登上央视。图源：《经济半小时》栏目
“无线能量传输”团队在半导体洗濯方面拥有多项“杀手锏”——“等离子体在线式参量丈量技能”“基于参数等效的三维微波等离子体多物理场仿真方法”，这些技能办理了大面积微波等离子体的高效率、高均匀性设计难题，也衍生出用于半导体键合的高性能微波等离子体洗濯装备，比较于传统射频等离子体，团队的新装备可以完备知足封测环节对干法洗濯的哀求。
团队自主研发的高均匀性微波等离子体洗濯装备
基于这一成果，团队于今年3月揭榜合肥市重大专项“用于半导体键合的微波等离子体洗濯装备研发及家当化”项目（项目金额1000万元）并得到立项。经由半年的艰巨攻关，团队完成了第一代产品样机研发。
该样机系统集成了高均匀性微波等离子体发生技能和自动化洗濯掌握技能，实现了引线框架的自动进出和洗濯，完备达到生产线需求，为该装备的批量转产打下坚实的根本，将来该技能还有望进一步拓展其在引线框架洗濯领域的运用，为半导体生产装备的国产化供应有力支撑。
（杨阳，四川大学电子信息学院教授，博士生导师）
（朱铧丞，四川大学电子信息学院副教授，博士生导师）
（邓国亮 ，四川大学电子信息学院副教授，博士生导师）
“无线能量传输”团队在杨阳教授、朱铧丞副教授、邓国亮副教授三位青年学术带头人带领下，长期从事大功率微波源、微波等离子体多物理数值仿照、新型激光/光电子技能和激光/微波能工业运用等领域的事情，团队形成了专利池，并已成功转化专利7项，运用于美的集团、中核集团和瑞士雀巢等企业，产生了积极的社会经济效益。
而以上这些科研成果既是“无线能量传输”团队的宝贵聪慧结晶，也是四川大学电子信息学院增强学科培植、提高科研硬实力的结果。
四川大学电子信息学院组建于1998年，但其办学历史可追溯至1954年。学院依托无线能量传输教诲部重点实验室和四川省光学重点实验室，形成了强激光及干系技能、无线能量传输、繁芜系统电磁兼容、通信抗滋扰等具有特色的研究方向，在高功率固体激光、微波化学、构造照明型三维成像理论与运用研究等领域的研究已达到国际前辈水平。
科研领域的发达发展，催生出一大批“顶天立地”的成果。近五年，学院已主持和承担国家自然科学重大项目、国家自然科学重点项目等多项国家级项目，有上千篇论文被SCI、EI检索，并荣获国家技能发明二等奖等多项国家级和省部级褒奖。
扎根于电子信息学院这片沃土上，古人留下了充满与光辉的科研足迹，而这也将引领着后来者无畏前行。面向未来，相信会有越来越多的川大学子在这里收成出众的能力与武断的信心，在科研的峰峦上越爬越高、越走越远，在做事国家电子信息家当发展的宏图中写下新的篇章。
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本文素材来源：四川大学官微、四川大学电子信息学院官网、四川大学家当技能研究院
