上海微电子高亮度 LED 步进投影光刻机入选“上海设计 100+”

上海微电子装备自主研发的高亮度LED步进投影光刻机，是中国首台面向6英寸以下中小基底前辈光刻运用领域的光刻机产品，可知足HB-LED等领域单面或双面的光刻工艺需求，办理了LED家昔时夜翘曲蓝宝石高分辨率、高拼接精度、大焦深、高产率的光刻需求，且支持蓝宝石键合片分外工艺。

IT之家获悉，上海微电子装备高亮度LED步进投影光刻机自产品问世以来，先后荣获“第十五届中国国际工业展览会铜奖”、“上海市专利新产品”、“第十三届（2018年度）中国半导体创新产品和技能奖”、工信部第四批“制造业单项冠军产品”等名誉。