电子特气成为“卡脖子”关键领域
据理解，半导系统编制造过程中的刻蚀、洗濯、外延成长、离子注入、掺杂、气相沉积、扩散等环节要利用大量的电子气体，并且电子气体的纯度对芯片质量影响很大。随着集成电路工艺节点不断缩小，已经达到10纳米、7纳米，芯片制造对所用气体的颗粒度和杂质含量的哀求也越来越高。
除了制造芯片，电子特气还可以运用到柔性屏生产、肺部显影、卫星离子发射等多个领域。
中泰证券等多家机构研究认为，电子特气行业具有较高的进入壁垒，美国空气化工、德国林德集团、法国液化空气和大阳日酸等四大公司掌握着环球90%以上的市场份额。海内市场更是如此，八成以上的电子特气依赖入口，高真个电子特气险些全部依赖入口，如离子注入气、光刻激光气等。
凯美特气打破电子特气关键技能 已能实现量产
凯美特气是一家以石油石化企业排放的尾气（废气）、火炬气为质料，将个中有代价的身分进行分离、提纯、回收循环利用的上市公司，是适口可乐、百事可乐中国区最大的高纯二氧化碳供应商。
2018年，凯美特气投资2亿多元，培植电子特种气体项目并将研发成果家当化，与喷鼻香港一家公司合伙成立岳阳凯美特电子特种罕有气体有限公司（以下简称“凯美特电子特气”），凯美特气控股97%。
“目前芯片制造所用的电子特气100%依赖入口，‘卡脖子’的问题必须要办理，我们在气体行业深耕了20多年，想为国家做点事情。”凯美特气董事长祝恩福说，“我们将二氧化碳家当链进行延伸，打破电子特气国产化的技能瓶颈，成功研发出电子特气提纯技能等多项核心技能，生产出电子级气体产品。”
视频加载中...
祝恩福先容，凯美特电子特气目前已成功本地化生产出电子级的99.999%高纯氙气、99.9995%超高纯航空氙气、99.9999%超高纯氩气、99.999%高纯氪气、99.9999%高纯氦气、99.9999%高纯氮、99.9999%高纯氢、99.999%高纯一氧化碳、99.99996%电子级二氧化碳，以及准分子激光含氟稠浊气，HCl稠浊气体等等。
“这些特种气体都能够实现量产。我们在2021年年初落实了9万空分的罕有气体项目，估量2022年年底可以具备每年200标方氙气、2000标方氪气、6万标方氖气，以及1.5万标方氦气的生产能力。”祝恩福说，现阶段凯美特电子特种罕有气体的生产能力已经可以实现近1个亿的产值。
凯美特气实现电子特气生产全流程自主可控 已得到液化空气认证
祝恩福先容，电子特气对付生产环境和包装等的哀求很高。“例如充装电子特气的气瓶，哀求特殊干净。海内的气瓶生产商达不到我们的指标哀求。我们不得不花1000万元从国外入口洗濯气瓶的生产线，确保了电子特气的高纯度。”祝恩福说。
如今的凯美特电子特气已经实现了氟气、氯化氢等罕有质料气自主可控，包装气瓶处理自主可控，提纯充装的生产过程自主可控，并且拥有电子特气剖析考验、气瓶检测的能力。全流程的自主可控，为稳定生产供应了保障。
电子特气属于危险化学品工业气体，生产过程有着严格的管理规范。2020年底，凯美特电子特气拿到了全套生产资质，包括安全生产容许证、全国工业产品生产容许证、气瓶充装容许证、移动式压力容器充装容许证、质量管理体系认证证书、环境管理体系认证证书、职业康健安全管理体系认证证书等。
只管得到了上述生产资质，凯美特电子特气具备了生产的条件并拥有量产的能力，但冲破国外对电子特气的长期垄断，实现电子特气“中国造”，须要市场的收受接管和认可。而走向市场的主要一步，是得到半导体行业巨子的认证。
凯美特气今年2月3日发布公告，称凯美特电子特气已收到液化空气（上海）供应商审核结论通知布告，生产的高纯度氪、氙、二氧化碳得到液化空气的认证。
法国液化空气集团，是天下上最大的工业气体和医疗气体以及干系做事的供应商之一。随后，凯美特电子特气生产的电子特气开始正式发卖，如今99.999%高纯度氪气已签署三单条约，发卖额近1000万元。
凯美特气瞄准的，是环球最大的光刻机制造商，荷兰阿斯麦的认证。“在得到阿斯麦认证之前，必须先得到德国相关公司的认证，相关公司是环球领先的激光技能供应商。现在情形还是比较顺利的，样气已经到喷鼻香港，还有几天可以到德国开始认证。我对我们的产品质量很有信心。”祝恩福说，“我相信未来，在电子特气行业我们会做得很好。”
声明：新华财经为新华社承建的国家金融信息平台。任何情形下，本平台所发布的信息均不构成投资建议。
