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专利择要显示，本发明公开了一种集成电解液pH值检测单元的硅电极及其制备方法。所述硅电极包括重掺杂硅基体、隔离层、键合层、pH值检测单元和绝缘层。本发明通过在硅电极上设置pH值检测单元，使得该硅电极集电解加工、侧壁绝缘、pH值检测单元于一体，在电解加工的同时实时监测间隙内电解液的pH值，用于反响电解加工间隙内沉淀物含量，办理了微细电解加工状态无法监测的难题，可实现加工检测一体化。
本文源自金融界
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