什么是RGA？
残余气体剖析Residual Gas Analysis，简称RGA，也称做内部水汽剖析Internal Moisture Analysis ，或者IVA(Internal Vapor Analysis)。
正常的空气身分按体积分数打算是：氮(N2)约占78%，氧(O2)约占21%，其它是罕有气体、二氧化碳、水蒸气(H2O)等。密封器件内部气氛对密封电子元器件的性能、寿命和可靠性有主要影响。如果水汽含量过高，或同时还有其它的有害元素，会导致器件失落效或性能参数不稳定。
内部气氛中的水汽会加速对电路的堕落浸染，造成密封腔内部环境的恶性污染，形成电路的短路或烧毁，导致电路失落去应有的功能浸染以影响电路的正常转换。水汽含量指湿空气中的水汽质量与湿空气的总质量之比，或者某固定容积的水汽体积与该容积之比(ppmv)。测定水汽含量对电子元器件的性能掩护具有主要意义。
设备照片
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紧张特点
·利用质谱法定量丈量金属或陶瓷密封器件内的气体气氛
·密封器件内的气体能影响器件长期可靠性
·反响密封过程质量：密封气氛（氮气），水汽，氧氩比，氟碳化合物，氢气
·测试是毁坏性的
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设备事理
残余气体剖析(RGA)所常用的内部气氛剖析仪采取的剖析方法是分压力质谱剖析法。其紧张事理是从密封器件内部取样后进行电离，然后采取质谱仪进行质量分离计数，末了给出各种气体的分压比。内部气氛剖析方法的根本理论包括气体静力学和质谱剖析理论。
内部气氛剖析仪由真空系统、取样系统、剖析系统、数据处理系统及样品夹具组成。样品刺穿后，利用压力差使样品内的气氛进入剖析系统。剖析系统为由离子源、剖析器、检测器组成的四极质谱仪。离子源将气体分子电离为离子，离子化的分子沿剖析器的Z方向进入四极场内，受到X、Y方向电场的浸染，实现质量分离，利用检测器丈量不同质量的离子的分压强，达到气氛身分剖析的目的。
