光刻机搬入现场。通讯员供图
近年来,广州市增城区正致力于构建以“芯显车”为主导的当代化家当体系。个中,在集成电路家当方面,增城已相继布局增芯、越海等一批重点项目,涵盖了集成电路制造、封测、装备、材料和平台等关键环节。
值得一提的是,今年,增芯项目首次被写入广东省政府事情报告。报告中指出,全省要坚持实体经济为本、制造业当家,培植更具国际竞争力的当代化家当体系,加快形成新质生产力。发展集成电路、新型储能、前沿新材料、超高清视频显示、生物制造、商业航天等新兴家当,推进粤芯三期、华润微、广州增芯、方正微等芯片项目培植。

据先容,增芯项目一期总投资达70亿元,估量建成后将具备年产24万片12英寸晶圆的生产能力,产品紧张运用于汽车电子、物联网、类工业以及消费电子等领域。根据发展方案,增芯项目将环绕“3月光刻机进场、6月通线、9月产品下线、12月交付客户”的阶段性目标,推进竣工验收、产能通线、工厂运营、良率提升和产品交付等各项事情。
“光刻机是环球最精密的科学仪器之一,在全体芯片制造当中是最关键的核心装备。”广州增芯科技有限公司总裁张亮阐明道,光刻机的事理类似于晶圆制造的一个摄影机。通过光芒曝光的办法,光刻机将光罩上设计好的芯片图形印到光感材料上,形成图形,勾引后续芯片的定位和刻蚀。“光刻机是生产线最核心的装备。可以说,只要光刻机进场了,离我们正式通线和产品量产指日可待。”
广州市增城区有关卖力人表示,增城正在加快培植高端电子信息新材料家当园,打造智能传感器家当园,构建粤港澳大湾区的半导体家当聚拢区和家当高地。“接下来,增城将连续支持增芯项目的培植,保障项目顺利投产。同时,增城还将以增芯项目等新兴家当为抓手,吸引更多家当链优质资源落户,推动计策性新兴家当成链集群发展。”
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采写:南都 张德威 通讯员 何秋玲 谢锡权