2、沈阳芯源微电子设备有限公司是海内有名的专业半导体装备企业，公司的主导产品匀胶显影设备是集成电路制造中的关键工艺设备。历经十年的开拓与创新，企业在消化引进国外前辈技能根本上，开拓出四大TRACK系列产品，取得180多项技能专利。通过承担国家02重大专项任务，自主研制完成的12英寸喷/涂胶机、显影机、刻蚀机，补充了海内此项高端产品的空缺，缩短了与国际前辈技能的差距，与入口同类产品比较具有性价比上风、首台套产品取得了大生产线厂商认证和采购运用。公司的国产设备，产品价格仅是入口设备的50%，可完备替代入口设备。2013年，实现产值1.2亿元，业务收入8730万元。
3、中国科学院沈阳科学仪器株式会社（以下简称沈阳科仪公司）是一家以超高真空技能为核心，以研制生产薄膜新材料制备、微米及纳米材料制备、真空得到、真空冶金设备以及高档真空器件为主，集研发、生产、发卖、做事为一体的高新技能企业。通过承担“干泵与系列真空阀门产品开拓与家当化”重大专项等科研任务，沈阳科仪公司目前已完成具有完备自主知识产权9种干泵、3种真空阀门产品（涵盖普通、中度堕落、高度堕落工艺环境），太阳能光伏平板式PECVD设备（太阳能电池生产线上最核心、最昂贵的设备之一），蓝宝石晶体成长炉，电子束蒸发镀膜设备等国际前辈水平产品的研制开拓，并实现了干系产品在海内半导体生产线上的运用推广，迫使国外同类产品普遍贬价30-40%发卖。公司产品将从有到全、从全到精，完成螺杆干式真空泵、爪型泵、太阳能电池双面减反射膜制备设备、85-120公斤级蓝宝石单晶炉及配套工艺、碳化硅单晶炉及配套工艺等新产品及新工艺的开拓及家当化。2013年公司实现发卖收入1.7亿元，业务收入1.13亿元。
4、沈阳新松机器人自动化株式会社是专门从事机器人及自动化成套装备研究开拓及家当化的公司，在我国的机器人行业为位居第一。承担了国家重大专项“IC装备机器手及硅片传输系统系列产品研发及家当化”，在真空机器手本体优化设计、SCARA型直驱真空机器手及EFEM方案设计、直驱型真空机器手平稳掌握、真空及大气碰撞检测及保护等关键技能实现重大打破；完成了对称连杆型、单侧连杆型、同轴驱动型、1-3轴SCARA型等8种真空机器手系列产品和末端可侧翻型等10种大气机器手系列产品的开拓，综合技能指标已达到国际同类产品的水平；产品已经在海内多个IC装备整机生产厂实现运用。2013年发卖清洁（真空）机器手及自动化妆备220余台套，实现发卖收入1.1亿元。
5、沈阳富创精密设备有限公司是一家专业从事半导体设备、光伏设备精密零件加工制造的科技企业。公司致力于半导体、光伏精密零部件及备件的研发、制造、发卖和做事，是海内精密零部件制造的领先企业。公司承担了02重大专项中唯一的平台类项目，是为国家IC装备家当供应零部件支撑做事的公共技能做事平台。目前，已成功为上海微电子（光刻机）、北京七星华创（扩散炉），沈阳芯源（匀胶显影设备），沈阳科仪（罗茨泵）以及美国Transmill公司（光伏设备研发）等IC装备企业的供应了精密零部件配套做事，并成为天下第一、第二大半导体设备商的环球计策互助伙伴。2013年实现产值4600万元，业务收入3700万元。
6、沈阳中科博微自动化技能有限公司是一家紧张面向半导体设备制造商，供应灵巧可靠的设备自控系统办理方案及定制设计、开拓、掩护和翻新做事的高新技能企业，拥有集束式IC装备掌握系统平台软件和集成电路生产线自动化监控软件等系列产品。先后承担了多项02专项课题，个中“集束式掌握平台与软件”已顺利通过验收；2011年启动的集成电路生产线自动化监控软件课题的部分成果已运用于华润上华、通富微电等海内大型集成电路和封装测试企业；自主研发的符合SEMI标准的掌握系统平台软件已成功运用于沈阳拓荆的12寸PECVD设备、沈阳芯源的匀胶显影设备以及新松机器人的晶圆传输系统。未来中科博微将在完善现有软件产品的根本之上，开拓知足IC装备数据采集、掌握和通信需求的高可靠、低本钱的测控单元等核心部件产品，形成更为全面、完全的IC装备自动化掌握办理方案。2013年，实现产值9000万元，业务收入6545万元。
