英文标准名称：Electronic grade water
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
L90
国际标准分类号（ICS）
31.030
发布日期
2013-12-31
履行日期
2014-08-15
主管部门
工业和信息化部（电子）
归口部门
工业和信息化部（电子）
发布单位
中华公民共和国国家质量监督考验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
2013年第27号公告
1 范围
GB/T 11446 的本部分规定了电子级水的级别、技能指标哀求、试验方法和检测规则。
本部分利用与电子和半导体工业永高纯洗濯用水。
2 规范性引用文件下列文件对付本文件的运用是须要的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修正）适用于本文件。
GB/T 11446.3-2013 电子级水测试方法通则
GB/T 11446.4-2013 电子级水电阻率的测试方法
GB/T 11446.5-2013 电子级水中痕量金属的原子接管分光光度测试方法
GB/T 11446.6-2013 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法
GB/T 11446.7-2013 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法
GB/T 11446.8-2013 电子级水中总有机碳的测试方法
GB/T 11446.9-2013 电子级水中微粒的仪器测试方法
GB/T 11446.10-2013 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
电子级水 electronic grade water
电子和半导体工艺过程中所用的高纯水。
3.2
电阻率 resistivity
在规定温度下，1cm3(正立方体)水溶液两相对面之间测得的电阻值。常日用符号ρ表示，单位为欧姆厘米（Ω·cm）,纯水的理论电阻率为18.3MΩ·cm(25℃)。
3.3
全硅 total silicon
水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。
3.4
可溶性硅 soluble silicon
以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐。
3.5微粒性物质 granular matter
除气体外，以非液体分散在水中，并形成非均相稠浊物的物质。
3.6总有机碳 total organic carbon；TOC
水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一样平常强氧化剂氧化的有机物和需用分外方法氧化的有机物。
3.7吸附 absorption某些多孔性粒状物质由于表面活性浸染而具有吸着某些物质的征象。
3.8凝聚 coagulation
在源水中加入某种电解质后，水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和，从而使其聚拢成较大颗粒而沉降的征象。
3.9絮凝 flocculation
水中的微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉淀的征象。絮凝一样平常是再凝聚浸染后缓慢进行，可撤除水中更细的微粒。
3.10砂滤器 sand filter
用于盛放不同直径的砂粒，以撤除源水中悬浮固体和浑浊物的装置。
3.11活性碳过滤器 activated carbon filter
装有粒状活性碳的过滤器，用于撤除水中的可溶性有机物和过量的残余氯。
3.12离子交流 ion exchange
一种不溶性物质与一种液体之间相互交流离子的可逆过程，该过程中物质并无本色性构造变革。3.13离子交流树脂 ion-exchange resin
一种合成的有机离子交流材料。
3.14去离子水 deionized water
经由离子交流处理，撤除了呈离子形式的杂质的高纯水
3.15再生 regeneration
离子交流过程操作循环中的一部分。在该部分中，用一定量的化学试剂通过离子交流树脂使其规复交流能力。
3.16复合床 complex bed
将阳离子交流树脂和阴离子交流树脂分别装入两个离子交流柱中，将两柱串联，使水依次通过两个柱而被纯化。
3.17稠浊床 mixed bed将阳离子交流树脂和阴离子交流树脂稠浊均匀，添补于同一离子交流柱中，其纯化效果相称于许多复合床串联利用。
3.18电渗析 electrodialysis一种分离水中离子的方法。在电渗析器中，阴阳两极之间用交替排列的阴、阳离子交流膜分割成一系列小室。水流利过小室时，在电流电场浸染下，水中阳离子向阴极方向移动，但不能通过阳膜；阴离子则相反。这样就形成相间存在的浓、淡水室而达到提纯水的目的。
3.19逆向渗透 reverse osmosis
用半透膜将浓水和淡水隔开，并在弄水上施加比渗透压更强的机器压力，则浓水中大部分水透过半透膜而杂质仍留在个中，达到分离提纯的目的。
3.20反渗透膜 reverse osmosis membrane
用于反渗透法制备纯水的一种合成薄膜，其孔径一样平常为0.02μm或更小，可用于撤除无机离子、有机物、细菌等，使水纯化。
3.21微孔膜滤器 membrane filter
一种均匀孔径（直径）大于0.01μm的薄膜，能把大于均匀孔径的微粒扣留在其表面或附近。
3.22超过滤 ultrafiltration一种过滤方法，在一定压力下使水流过超滤膜以撤除水中的极细微粒、胶体和细菌等。
3.23终端 terminal
高纯水生产流程中经由各道净化工艺后，水的出口或利用地点。
3.24无菌 sterile
不含任何活有机体（不论是生动的或休眠的）。
3.25PH
水溶液中氢离子活度的负对数或氢氧根离子活度倒数的负对数。
