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专利择要显示,本发明公开了一种 TFT‑LCD 玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置及方法,涉及 TFT‑LCD 玻璃基板生产处理技能领域。本发明中:漂洗箱内迁徙改变安装有用于竖直承载多个玻璃基板的篮具架,漂洗箱下方配置有伺服驱动装置,漂洗箱一内侧壁面嵌入安装有光电发射模块,漂洗箱另一内侧壁面嵌入安装有与光电发射模块位置对齐的光电吸收模块。漂洗箱安装有多少与光电发射模块同侧板位置的喷流管头,漂洗箱安装有多少与光电吸收模块同侧板位置的吸流管头。漂洗箱安装有与吸流管头同侧板位置的温度传感模块,漂洗箱安装有与喷流管头同侧板位置的加热模块。本发明减少滞留在漂洗箱、相邻玻璃基板间隙区域的微蚀刻残液量,让玻璃基板的洗濯清洁效率、清洁程度更高。
本文源自金融界

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