MFC紧张由两部分组成：用于限定流量的阀门，串联着用于丈量和反馈的流量计。掌握器根据流量计的读数，动态的调度阀门的开动身度，即可实现对流量的准确掌握。限定流量的手段在过去紧张是针阀，在MFC中常采取相似事理的各种变种。流量计有很多种形式，在过去或较大流量时，可以用各种“风车”事理，家里的煤气表常日便是这种构造。但是当代流量计追求全固态，不肯望有运动部件，因此广泛利用量热式和压差式流量计。前者是丈量气体的流动对热的管道的温度的影响来间接测定流量，后者是丈量气体流过毛细管前后的压强变革来间接测定流量。量热式价格便宜，是国产MFC紧张利用的事理，缺陷是分辨率不高，热惯性导致的相应慢，以及对安装姿态有较严格的哀求。后者有诸多好处，但是本钱高价格贵。
本文拆解的这天本HORIBA STEC公司（堀场制作所）的D500型MFC，紧张用于半导体行业。这个东西的掌握电路彷佛烧坏了，可以开机并进行面板操作，但是上位机找不到它。该MFC模块的厂商供应价大约是3万元一个，海内没有同类产品。
下图是MFC的运用处景（MPCVD设备），这里面只有右侧的电路板是KC设计的，与上位机组合后整体构成工艺气体掌握器。MFC是关不去世的，纵然完备关闭也会漏气，因此两端必须搭配能关去世的阀门利用。这些阀门如果须要自动掌握，常日是气动的，电磁阀岛（右侧）仅用于开闭压缩空气。
这便是MFC的外不雅观了。底座上有保护膜，撕了一下没撕掉，先拍一张
底座下方。两侧中央的孔是进出气孔，金属面密封，可以比较方便的组装集成气路
面板
侧面
不知干嘛用的，本来有个膜遮住的，被我撕开了
撕膜时，可以看出底座是侧面是磨平了的，以是才须要保护膜，而且棱角非常锋利，该当是对形状准确度有严格哀求。
开盖
拔掉插头，分离掌握电路，剩下传感器和实行器
右侧传感器丈量进气压强，左侧两个传感器分别丈量毛细管前后压强，构成压差计
这些是压强传感器
这是掌握和接口电路板
嗯，怪不得有青烟冒出
现在来拆传感器和实行器。压差计的毛细管在底部。
拆掉四颗大螺丝后所见
金属密封，有明显压痕
这便是一个多层通气板（我也不知道叫啥名字），大概用场是气体通过它的时候能够产生压强差。
去掉通气板之后
我不是搞流体的，不清楚这东西是啥事理
内部
气体从中央小洞流进，从左侧大洞流出。中央小洞和左侧大洞的对面分别接有一个绝对值压强计。
接下来拆实行器，这个带弹簧的东西看起来非常坚硬，不知道是啥，悬臂梁？
实行用的电磁铁？
弹簧的正面
弹簧的背面
上图中央的突出，从下图中央的孔插入
刚好插到下图中央的圆饼上
圆饼下面是平面弹簧
去掉弹簧后有一个可以取下的底座
去掉该底座，露出过滤芯
3
流量阀里面的所有东西
想把“电磁铁”拆开
只能拆掉上面的盖子。
盖子的旋紧深度是可以调度的，该当是用来调试到得当位置。
里面的“电磁铁”是波纹管焊接密封的，无法取出。
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末了，拆一个压强机看看
有个通气孔
用烙铁把驱动板分离，右侧便是传感器了。
都是这种5个腿的传感器
可以看到焊缝，传感器的外壳是焊在底座上的。
关于压强传感器，在以前的拆解中，碰着过类似的MEMS真空规，不过有8个腿：
https://www.kechuang.org/t/83937
最近国产芯片的事比较热门，而MFC只是芯片工业成千上万个主要零件中的一员。上图上这些高精度机器加工产品，MEMS传感器等电子元器件以及与之配套的软件，仅仅是冰山一角。这样弘大的家当，靠一个国家是很难吃下的，抄都抄不完，更别谈“自主原创”，它须要全天下几十年的积累。
